기계시스템공학과

실험실 소개

나노시스템연구실에서는 고정도기계를 구현하기 위한 기계 및 전자 시스템이 복합적으로 구성된 미소기구나 기계의 기본적인 원칙 등을 체계화 및 새로운 원리를 도출해 내기위한 학문을 연구하는 실험실로서, 설계 계측 제어 등의 분야를 중심으로 다음과 같은 연구를 수행하고 있다.

• 나노응용계측기술분야
  • 나노계측분야의 체계적 이론 정립(데이터취득과정에서 발생하는 오차해석)
  • 나노계측에 의한 정밀기계의 구동계의 고정도화
  • 나노계측기 구동용 나노스테이지의 개발
  • 나노계측기 프로브의 개발(인프로세스 가공이 가능한 프로브)
  • 광센서를 이용한 피코(10-12)계측기술의 개발에 대한 연구
• 광응용기술분야
  • 반도체다이오드 등의 광관련 센서의 고정도화
  • MEMS가공 기술을 이용한 광센서 개발
  • 3차원 형상측정의 고정도화를 위한 광프로브(Optical Probe)의 개발에 관한 연구(Nano CMM 등)
• 나노센서 및 액츄에이터 응용분야
  • MEMS에 있어서의 기구의 설계·해석·시뮬레이션 (동작원리의 검증,미세현상의 분석,구조물의 성능,거동 등의 검증)
  • MEMS구조물의 시험·평가·측정에 관한 연구
  • 부품응용 및 시스템의 적용(마이크로 로봇에의 적용에 대한 연구)
  • 센서설계 및 개발 (변위량,속도해석 중심)
  • 구조액추에이터 개발(PZT 액추에이터설계 및 제작과정검토)

교수님 소개

권현규 교수님

• 1993 - 경북대학교(공학사 - 기계공학)
• 1996 - 일본동북대학교(공학석사 - 기계공학)
• 1999 - 일본동북대학교(공학박사 - 기계전자공학)
• 1999 - 일본파과제어연구소연구원
• 2000 - 미국표준과학연구소(NIST) 초청연구원
• 전공분야 : 나노계측제어공학
• 강의과목 : 전자공학개론, 메카트로닉스기초, 동역학, 기계요소설계
• e-mail : hkkweon@kumoh.ac.kr

주요 연구 과제

• Development of a New UTM(Universal Testing Machine) System for the Nano/Micro In-Process Measurement
• A New Method for Improving the Accuracy of SPM and its Application to AFM in Liquid
• Measurement of AFM CANTILEVER SPRING CONSTANT Using SURFACE PROFILE
• A Basic Study of the CNT-Biomolecule Conjugation for Biosensor based on CNT
• 가공면미세결함의 나노인프로세스 측정을 위한 AFM 시스템의 개발
• In-Situ Self-calibration of Atomic Force Microscopy
• 바이몰프 PZT의 특성평가 및 응용연구
• 나노인프로세스 표면형상계측을 위한 SFM의 개발
• 나노인프로세스 형상계측 및 미세가공용 프로브의 개발
• 원자간력 현미경의 탐침외팔보의 정량적 특성평가를 위한 시스템 개발
• 압전세라믹 액추에이터를 사용한 초소형 만능시험기의 개발
• 바이몰프 PZT의 특성평가 및 응용연구
• 비접촉 원자간력 현미경의 탐침 캔티레버 진동특성 및 측정성능평가